웨이퍼 핫척｜정밀 온도제어형 실험실용 가열 장비｜ASONE Wafer Hot Chuck Φ4 / Φ6 인치 PH201S/K
웨이퍼 및 유리기판 등 얇은 워크를 진공 흡착 방식으로 고정하고, 실온부터 최대 200 ℃까지 정밀하게 가열할 수 있는 고성능 핫척입니다. 플레이트 사이즈 및 표면처리(블랙 알루마이트 또는 금도금) 사양이 선택 가능하며, 소형 실험실부터 반도체·디스플레이 연구환경까지 폭넓게 활용할 수 있습니다.
주요특징
초박형 워크(웨이퍼, 유리기판 등)를 진공 흡착 방식으로 고정할 수 있어 가열 중 워크의 움직임을 최소화합니다.
온도 제어 범위가 실온 ~ 200 ℃이며, 온도 정확도 ±1.5% 수준으로 정밀한 온도제어가 가능합니다.
플레이트는 Φ4인치 및 Φ6인치 사이즈로 제공되며, 전기용량(Φ4인치 400 W, Φ6인치 900 W) 등 사양이 다양하여 실험 환경과 워크 크기에 맞춰 선택할 수 있습니다.
블랙 알루마이트 처리 또는 금도금 표면 처리 사양이 선택 가능하여, 열전달성과 내구성, 표면 특성을 요구하는 실험에 적합합니다.
별도 진공펌프(예: DAP-12S 등)와 조합해 진공 흡착 환경을 구현할 수 있어 반도체, 디스플레이, MEMS 등 고정밀 가열처리에 탁월합니다.
사양
| 품번 | 모델명 | 플레이트 사이즈 | 표면 처리 | 외형 치수 | 중량 |
| 4-1528-01 | PH201S-04 | Φ4 인치 | 블랙 알루마이트 | 140 × 170 × 50.5 mm | 3 kg |
| 4-1528-02 | PH201K-04 | 금도금 | |||
| 4-1528-03 | PH201S-06 | Φ6 인치 | 블랙 알루마이트 | 200 × 234 × 54 mm | |
| 4-1528-04 | PH201K-06 | 금도금 |
배송안내
배송 지역 | 대한민국 전지역
배송비 | 4,000원 (100,000원 이상 결제시 무료배송)
배송기간 | 주말 공휴일 제외 2~5일
- 모든 배송은 택배사 사정으로 지연될 수 있습니다.
교환 및 반품 안내
- 고객 변심으로 인한 교환/반품은 상품 수령 후 14일 이내 가능합니다.
- 고객 귀책 사유로 인한 반품의 경우 왕복 택배비는 고객 부담입니다.
- 반품접수 기한이 지난 경우, 제품 및 패키지 훼손, 사용 흔적이 있는 제품은 교환/반품이 불가합니다.
주요특징
초박형 워크(웨이퍼, 유리기판 등)를 진공 흡착 방식으로 고정할 수 있어 가열 중 워크의 움직임을 최소화합니다.
온도 제어 범위가 실온 ~ 200 ℃이며, 온도 정확도 ±1.5% 수준으로 정밀한 온도제어가 가능합니다.
플레이트는 Φ4인치 및 Φ6인치 사이즈로 제공되며, 전기용량(Φ4인치 400 W, Φ6인치 900 W) 등 사양이 다양하여 실험 환경과 워크 크기에 맞춰 선택할 수 있습니다.
블랙 알루마이트 처리 또는 금도금 표면 처리 사양이 선택 가능하여, 열전달성과 내구성, 표면 특성을 요구하는 실험에 적합합니다.
별도 진공펌프(예: DAP-12S 등)와 조합해 진공 흡착 환경을 구현할 수 있어 반도체, 디스플레이, MEMS 등 고정밀 가열처리에 탁월합니다.
사양
| 품번 | 모델명 | 플레이트 사이즈 | 표면 처리 | 외형 치수 | 중량 |
| 4-1528-01 | PH201S-04 | Φ4 인치 | 블랙 알루마이트 | 140 × 170 × 50.5 mm | 3 kg |
| 4-1528-02 | PH201K-04 | 금도금 | |||
| 4-1528-03 | PH201S-06 | Φ6 인치 | 블랙 알루마이트 | 200 × 234 × 54 mm | |
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