스핀코터│연구·개발용 균일 코팅 장비│Spin Coater ACT-220AⅡ·ACT-300AⅡ
AS ONE 스핀코터 ACT-220AⅡ 및 ACT-300AⅡ 시리즈는 연구 개발 및 평가용 정밀 코팅 장비입니다. 다양한 용액(잉크, 포토레지스트, 기능성 재료 등) 도포 실험에 대응하며, 프로그램 메모리 및 다단계 속도 제어로 재현성 높은 균일막을 형성할 수 있습니다. 고속 회전과 정밀 RPM 제어로 코팅 품질의 재현성을 극대화하며, 안전 커버·인터록 시스템이 작업 안정성 향상에도 기여합니다.
주요 특징
다양한 용액을 이용한 개발·평가용 코팅 실험에 적합한 본체 구성입니다.
안전 커버 + 마그넷 인터록 센서를 표준 장착하여 작업 중 안정성을 확보합니다.
최대 10단계 × 100패턴 프로그램 메모리(50단계 × 20패턴 선택 가능)를 제공하여 일관된 실험 조건 설정이 가능합니다.
본체 및 진공 펌프 측면 모두에 원터치 커넥터를 채용하여 튜브 연결을 간편하게 할 수 있습니다.
다양한 기판 크기 대응 및 옵션 부품(진공 흡착 펌프, 시료대 등)과 조합하여 실험 효율을 높일 수 있습니다.
스핀코팅 실험 전용 설계로 재현성 높은 박막 형성과 표면 품질 평가에 유리합니다.
사양
| 품번 / 모델명 | 3-8278-02 / ACT-220AⅡ | 3-8278-03 / ACT-300AⅡ |
|---|---|---|
| 적응 기판 크기(㎜) | Φ5~Φ100(Max Φ4인치, □70 | Φ5~Φ150(Max Φ6인치, □110) |
| 컵 사이즈(㎜) | Φ220(내경 Φ217) | Φ300(내경 Φ297) |
| 회전 제어 속도(rpm) | 0~7000 | 0~6000 |
| 회전 정밀도(rpm) | ±1 | |
| 외치수(㎜) | 250×330×272 | 350×450×325 |
| 전원 | AC100V 5A(AC서보 모터 200W) 50/60㎐ | |
| 본체 커버 · 컵 재질 | 스테인리스 연마 #400 표준(테프론 코팅 가능) | |
| 중량(㎏) | 18 | 22 |
- ※본체 사용시에는 별매의 진공 펌프와 시료대가 필요합니다.
- ※φ100mm 이상의 기판에는 용도에 따라 센터링 지그가 필요합니다. 문의하십시오.
- ※시료대등 옵션품만 의뢰의 경우는, 사용중의 액티브 스핀 코터의 시리얼 넘버(S/No)를 전해 주세요.
- ※주문전에 상담해 주시면, 특주 및 추가공 가능합니다.
옵션
| 품번 | 모델명 | 품명 |
|---|---|---|
| 3-8278-11 | VP220 | 220용 진공펌프(기판 흡착용) |
| 3-8278-13 | ST520 | 시료대(적응 기판 사이즈 : Φ5 - 20㎜) |
| 3-8278-14 | ST1030 | 시료대(적응 기판 사이즈 : Φ10 - 30㎜) |
| 3-8278-15 | ST3050 | 시료대(적응 기판 사이즈 : Φ30 - 50㎜) |
| 3-8278-16 | ST5075 | 시료대(적응 기판 사이즈 : Φ50 - 75㎜) |
| 3-8278-17 | ST75100 | 시료대(적응 기판 사이즈 : Φ75 - 100㎜) |
| 3-8278-18 | φ100 | 시료대(적응 기판 사이즈 : Φ100㎜) ACT-300AⅡ전용 |
| 3-8278-19 | φ125 | 시료대(적응 기판 사이즈 : Φ125㎜) ACT-300AⅡ전용 |
배송안내
배송 지역 | 대한민국 전지역
배송비 | 4,000원 (100,000원 이상 결제시 무료배송)
배송기간 | 주말 공휴일 제외 2~5일
- 모든 배송은 택배사 사정으로 지연될 수 있습니다.
교환 및 반품 안내
- 고객 변심으로 인한 교환/반품은 상품 수령 후 14일 이내 가능합니다.
- 고객 귀책 사유로 인한 반품의 경우 왕복 택배비는 고객 부담입니다.
- 반품접수 기한이 지난 경우, 제품 및 패키지 훼손, 사용 흔적이 있는 제품은 교환/반품이 불가합니다.
주요 특징
다양한 용액을 이용한 개발·평가용 코팅 실험에 적합한 본체 구성입니다.
안전 커버 + 마그넷 인터록 센서를 표준 장착하여 작업 중 안정성을 확보합니다.
최대 10단계 × 100패턴 프로그램 메모리(50단계 × 20패턴 선택 가능)를 제공하여 일관된 실험 조건 설정이 가능합니다.
본체 및 진공 펌프 측면 모두에 원터치 커넥터를 채용하여 튜브 연결을 간편하게 할 수 있습니다.
다양한 기판 크기 대응 및 옵션 부품(진공 흡착 펌프, 시료대 등)과 조합하여 실험 효율을 높일 수 있습니다.
스핀코팅 실험 전용 설계로 재현성 높은 박막 형성과 표면 품질 평가에 유리합니다.
사양
| 품번 / 모델명 | 3-8278-02 / ACT-220AⅡ | 3-8278-03 / ACT-300AⅡ |
|---|---|---|
| 적응 기판 크기(㎜) | Φ5~Φ100(Max Φ4인치, □70 | Φ5~Φ150(Max Φ6인치, □110) |
| 컵 사이즈(㎜) | Φ220(내경 Φ217) | Φ300(내경 Φ297) |
| 회전 제어 속도(rpm) | 0~7000 | 0~6000 |
| 회전 정밀도(rpm) | ±1 | |
| 외치수(㎜) | 250×330×272 | 350×450×325 |
| 전원 | AC100V 5A(AC서보 모터 200W) 50/60㎐ | |
| 본체 커버 · 컵 재질 | 스테인리스 연마 #400 표준(테프론 코팅 가능) | |
| 중량(㎏) | 18 | 22 |
- ※본체 사용시에는 별매의 진공 펌프와 시료대가 필요합니다.
- ※φ100mm 이상의 기판에는 용도에 따라 센터링 지그가 필요합니다. 문의하십시오.
- ※시료대등 옵션품만 의뢰의 경우는, 사용중의 액티브 스핀 코터의 시리얼 넘버(S/No)를 전해 주세요.
- ※주문전에 상담해 주시면, 특주 및 추가공 가능합니다.
옵션
| 품번 | 모델명 | 품명 |
|---|---|---|
| 3-8278-11 | VP220 | 220용 진공펌프(기판 흡착용) |
| 3-8278-13 | ST520 | 시료대(적응 기판 사이즈 : Φ5 - 20㎜) |
| 3-8278-14 | ST1030 | 시료대(적응 기판 사이즈 : Φ10 - 30㎜) |
| 3-8278-15 | ST3050 | 시료대(적응 기판 사이즈 : Φ30 - 50㎜) |
| 3-8278-16 | ST5075 | 시료대(적응 기판 사이즈 : Φ50 - 75㎜) |
| 3-8278-17 | ST75100 | 시료대(적응 기판 사이즈 : Φ75 - 100㎜) |
| 3-8278-18 | φ100 | 시료대(적응 기판 사이즈 : Φ100㎜) ACT-300AⅡ전용 |
| 3-8278-19 | φ125 | 시료대(적응 기판 사이즈 : Φ125㎜) ACT-300AⅡ전용 |
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