플라즈마 클리너 2L 40KHZF RF│연구·실험용 진공 표면처리 장비│Plasma Cleaner

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PCL-2는 2리터 스테인리스 진공 챔버를 적용한 RF 플라즈마클리너로, 플라스틱 패키지, 웨이퍼, 글래스 슬라이드 등의 표면 오염 제거 및 표면 활성화를 수행하는 연구·실험용 장비입니다. 시료 준비 및 디바이스 제작 공정에서 세정, 포토레지스트 애싱, 잉크 제거, 젖음성 향상 공정에 활용 가능합니다.

 

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