플라즈마 클리너 10L 40KHZ│연구·실험용 진공 표면처리 세척장비│Plasma Cleaner
PCL-10은 10리터급 스테인리스 챔버를 적용한 RF 플라즈마클리너로, 웨이퍼·플라스틱·유리 기판 등의 표면 오염 제거 및 표면 활성화를 수행하는 중형 연구·공정용 장비입니다. 넉넉한 챔버 용적과 정밀 유량 제어 기능을 통해 실험실 및 파일럿 공정 환경에 적합한 모델입니다.
주요특징
10L 대용량 챔버(220 × 280 × 180mm) 구조입니다
RF 출력 0~300W 조절 가능하여 다양한 소재 대응이 가능합니다
40KHz RF 방식으로 안정적인 플라즈마 형성이 가능합니다
50 Ohm 자동 임피던스 매칭 기능을 지원합니다
진공 범위 10Pa~30Pa 제어가 가능합니다
세정 시간 1~99999초 설정 가능으로 공정 재현성이 뛰어납니다
가스 유량 10~300ml/min 조절이 가능합니다
MCU 기반 자동/수동 모드 지원으로 운용이 간편합니다
N₂, Ar, Air, 혼합가스 적용이 가능합니다
강제 공랭 방식으로 챔버 온도 30℃ 이하 유지합니다
듀얼 가스 믹서 옵션 확장 가능합니다
진공펌프 별도 옵션 선택 가능합니다
사양
| 모델명 | PCL-10 |
|---|---|
| 챔버 용량 | 10 L |
| 챔버 크기 | 220 × 280 × 180 mm |
| 챔버 재질 | Stainless Steel |
| 전원 | AC 220V, 50/60Hz |
| RF 출력 | 0~300W 조절 |
| RF 주파수 | 40KHz |
| 주파수 오차 | ±0.2KHz 이하 |
| 특성 임피던스 | 50 Ohm (자동 매칭) |
| 진공도 | 10Pa ~ 30Pa |
| 세정 시간 | 1~99999초 조절 |
| 가스 유량 | 10~300 ml/min 조절 |
| 가스 종류 | N₂, Ar, Air, Mixed Gas (별도) |
| 가스 채널 | 기본 1채널 (옵션: 2채널 믹서) |
| 제어 방식 | MCU 자동 / 수동 모드 |
| 냉각 방식 | 강제 공랭 |
| 챔버 온도 | 30℃ 이하 |
| 외형 크기 | 650 × 550 × 440 mm |
배송안내
배송 지역 | 대한민국 전지역
배송비 | 4,000원 (100,000원 이상 결제시 무료배송)
배송기간 | 주말 공휴일 제외 2~5일
- 모든 배송은 택배사 사정으로 지연될 수 있습니다.
교환 및 반품 안내
- 고객 변심으로 인한 교환/반품은 상품 수령 후 14일 이내 가능합니다.
- 고객 귀책 사유로 인한 반품의 경우 왕복 택배비는 고객 부담입니다.
- 반품접수 기한이 지난 경우, 제품 및 패키지 훼손, 사용 흔적이 있는 제품은 교환/반품이 불가합니다.
주요특징
10L 대용량 챔버(220 × 280 × 180mm) 구조입니다
RF 출력 0~300W 조절 가능하여 다양한 소재 대응이 가능합니다
40KHz RF 방식으로 안정적인 플라즈마 형성이 가능합니다
50 Ohm 자동 임피던스 매칭 기능을 지원합니다
진공 범위 10Pa~30Pa 제어가 가능합니다
세정 시간 1~99999초 설정 가능으로 공정 재현성이 뛰어납니다
가스 유량 10~300ml/min 조절이 가능합니다
MCU 기반 자동/수동 모드 지원으로 운용이 간편합니다
N₂, Ar, Air, 혼합가스 적용이 가능합니다
강제 공랭 방식으로 챔버 온도 30℃ 이하 유지합니다
듀얼 가스 믹서 옵션 확장 가능합니다
진공펌프 별도 옵션 선택 가능합니다
사양
| 모델명 | PCL-10 |
|---|---|
| 챔버 용량 | 10 L |
| 챔버 크기 | 220 × 280 × 180 mm |
| 챔버 재질 | Stainless Steel |
| 전원 | AC 220V, 50/60Hz |
| RF 출력 | 0~300W 조절 |
| RF 주파수 | 40KHz |
| 주파수 오차 | ±0.2KHz 이하 |
| 특성 임피던스 | 50 Ohm (자동 매칭) |
| 진공도 | 10Pa ~ 30Pa |
| 세정 시간 | 1~99999초 조절 |
| 가스 유량 | 10~300 ml/min 조절 |
| 가스 종류 | N₂, Ar, Air, Mixed Gas (별도) |
| 가스 채널 | 기본 1채널 (옵션: 2채널 믹서) |
| 제어 방식 | MCU 자동 / 수동 모드 |
| 냉각 방식 | 강제 공랭 |
| 챔버 온도 | 30℃ 이하 |
| 외형 크기 | 650 × 550 × 440 mm |
배송안내
배송 지역 | 대한민국 전지역
배송비 | 4,000원 (100,000원 이상 결제시 무료배송)
배송기간 | 주말 공휴일 제외 2~5일
- 모든 배송은 택배사 사정으로 지연될 수 있습니다.
교환 및 반품 안내
- 고객 변심으로 인한 교환/반품은 상품 수령 후 14일 이내 가능합니다.
- 고객 귀책 사유로 인한 반품의 경우 왕복 택배비는 고객 부담입니다.
- 반품접수 기한이 지난 경우, 제품 및 패키지 훼손, 사용 흔적이 있는 제품은 교환/반품이 불가합니다.


