플라즈마 클리너 15L 40KHZ│연구·실험용 진공 표면처리 세척장비│Plasma Cleaner

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PCL-15는 15리터급 대형 스테인리스 챔버를 적용한 RF 플라즈마클리너로, 중대형 시편 처리 및 파일럿 공정 개발에 적합한 모델입니다. 최대 600W RF 출력 지원으로 플라즈마 밀도 향상이 가능하며, 웨이퍼, 고분자 소재, 유리 기판 등 다양한 재료의 표면 세정 및 활성화 공정에 활용됩니다.

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