플라즈마 클리너 15L 13.56MHz RF│연구·실험용 고진공 표면처리 세척장비│Plasma Cleaner

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PCL-15H는 13.56MHz RF 전원을 적용한 15리터급 고진공 플라즈마클리너로, 대형 시편 및 파일럿 공정 개발 환경에 적합한 상위 사양 모델입니다. 1Pa급 진공 제어, 듀얼 가스 믹서 기본 구성, 2XZ-4 진공펌프 포함 사양으로 고재현성 플라즈마 공정을 구현할 수 있습니다.

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