플라즈마 클리너 15L 13.56MHz RF│연구·실험용 고진공 표면처리 세척장비│Plasma Cleaner
PCL-15H는 13.56MHz RF 전원을 적용한 15리터급 고진공 플라즈마클리너로, 대형 시편 및 파일럿 공정 개발 환경에 적합한 상위 사양 모델입니다. 1Pa급 진공 제어, 듀얼 가스 믹서 기본 구성, 2XZ-4 진공펌프 포함 사양으로 고재현성 플라즈마 공정을 구현할 수 있습니다.
주요특징
산업 표준 13.56MHz RF 방식 적용 모델입니다
RF 출력 0~500W 조절 가능하여 고밀도 플라즈마 구현이 가능합니다
1Pa~30Pa 고진공 범위 제어 가능합니다
15L 대형 챔버(370 × 320 × 130mm) 구조입니다
50 Ohm 자동 임피던스 매칭 기능 지원합니다
Two Channel Gas Mixer 기본 적용 모델입니다
가스 유량 10~160ml/min 정밀 제어 가능합니다
2XZ-4 진공펌프 기본 포함 구성입니다
세정 시간 1~6000초 설정 가능
MCU 기반 자동/수동 모드 지원으로 공정 재현성이 우수합니다
강제 공랭 방식으로 챔버 온도 30℃ 이하 유지합니다
웨이퍼, 패키지, 유리 기판, 기능성 소재 표면 개질 공정에 적합합니다
사양
| 모델명 | PCL-15H |
|---|---|
| 챔버 용량 | 15 L |
| 챔버 크기 | 370 × 320 × 130 mm |
| 챔버 재질 | Stainless Steel |
| 전원 | AC 220V, 50/60Hz |
| 작동 전류 | 1.2A 이하 (펌프 제외) |
| RF 출력 | 0~500W 조절 |
| RF 주파수 | 13.56 MHz |
| 주파수 오차 | ±0.2KHz 이하 |
| 특성 임피던스 | 50 Ohm (자동 매칭) |
| 진공도 | 1Pa ~ 30Pa |
| 진공펌프 | 2XZ-4 포함 |
| 세정 시간 | 1~6000초 조절 |
| 가스 유량 | 10~160 ml/min 조절 |
| 가스 종류 | N₂, Ar, Air, Mixed Gas (별도) |
| 가스 채널 | 2채널 믹서 |
| 제어 방식 | MCU 자동 / 수동 모드 |
| 냉각 방식 | 강제 공랭 |
| 챔버 온도 | 30℃ 이하 |
| 외형 크기 | 650 × 600 × 750 mm |
| 중량 | 95 kg |
배송안내
배송 지역 | 대한민국 전지역
배송비 | 4,000원 (100,000원 이상 결제시 무료배송)
배송기간 | 주말 공휴일 제외 2~5일
- 모든 배송은 택배사 사정으로 지연될 수 있습니다.
교환 및 반품 안내
- 고객 변심으로 인한 교환/반품은 상품 수령 후 14일 이내 가능합니다.
- 고객 귀책 사유로 인한 반품의 경우 왕복 택배비는 고객 부담입니다.
- 반품접수 기한이 지난 경우, 제품 및 패키지 훼손, 사용 흔적이 있는 제품은 교환/반품이 불가합니다.
주요특징
산업 표준 13.56MHz RF 방식 적용 모델입니다
RF 출력 0~500W 조절 가능하여 고밀도 플라즈마 구현이 가능합니다
1Pa~30Pa 고진공 범위 제어 가능합니다
15L 대형 챔버(370 × 320 × 130mm) 구조입니다
50 Ohm 자동 임피던스 매칭 기능 지원합니다
Two Channel Gas Mixer 기본 적용 모델입니다
가스 유량 10~160ml/min 정밀 제어 가능합니다
2XZ-4 진공펌프 기본 포함 구성입니다
세정 시간 1~6000초 설정 가능
MCU 기반 자동/수동 모드 지원으로 공정 재현성이 우수합니다
강제 공랭 방식으로 챔버 온도 30℃ 이하 유지합니다
웨이퍼, 패키지, 유리 기판, 기능성 소재 표면 개질 공정에 적합합니다
사양
| 모델명 | PCL-15H |
|---|---|
| 챔버 용량 | 15 L |
| 챔버 크기 | 370 × 320 × 130 mm |
| 챔버 재질 | Stainless Steel |
| 전원 | AC 220V, 50/60Hz |
| 작동 전류 | 1.2A 이하 (펌프 제외) |
| RF 출력 | 0~500W 조절 |
| RF 주파수 | 13.56 MHz |
| 주파수 오차 | ±0.2KHz 이하 |
| 특성 임피던스 | 50 Ohm (자동 매칭) |
| 진공도 | 1Pa ~ 30Pa |
| 진공펌프 | 2XZ-4 포함 |
| 세정 시간 | 1~6000초 조절 |
| 가스 유량 | 10~160 ml/min 조절 |
| 가스 종류 | N₂, Ar, Air, Mixed Gas (별도) |
| 가스 채널 | 2채널 믹서 |
| 제어 방식 | MCU 자동 / 수동 모드 |
| 냉각 방식 | 강제 공랭 |
| 챔버 온도 | 30℃ 이하 |
| 외형 크기 | 650 × 600 × 750 mm |
| 중량 | 95 kg |
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