플라즈마 클리너 20L 40KHz RF│연구·실험용 진공 표면처리 세척장비│Plasma Cleaner
PCL-20은 20리터급 대형 스테인리스 챔버를 적용한 RF 플라즈마클리너로, 대형 시편 및 파일럿 공정 환경에서 표면 오염 제거와 표면 활성화를 수행하는 중대형 장비입니다. 최대 600W RF 출력과 정밀 유량 제어 기능을 통해 반도체, 소재, 전자부품 전처리 공정에 적합합니다.
주요특징
20L 대용량 챔버(380 × 265 × 200mm) 구조입니다
RF 출력 0~600W 조절 가능하여 고밀도 플라즈마 구현이 가능합니다
40KHz RF 방식 기반 안정적 플라즈마 발생 구조입니다
50 Ohm 자동 임피던스 매칭 기능을 지원합니다
진공 범위 10Pa~30Pa 제어 가능합니다
세정 시간 1~99999초 설정 가능으로 장시간 공정 운용이 가능합니다
가스 유량 10~300ml/min 조절 가능합니다
MCU 기반 자동/수동 모드 지원으로 공정 재현성이 우수합니다
N₂, Ar, Air, 혼합가스 적용 가능합니다
듀얼 가스 믹서 옵션 확장 가능합니다
진공펌프 옵션 선택 가능합니다
강제 공랭 방식으로 챔버 온도 30℃ 이하 유지합니다
사양
| 모델명 | PCL-20 |
|---|---|
| 챔버 용량 | 20 L |
| 챔버 크기 | 380 × 265 × 200 mm |
| 챔버 재질 | Stainless Steel |
| 전원 | AC 220V, 50/60Hz |
| RF 출력 | 0~600W 조절 |
| RF 주파수 | 40KHz |
| 주파수 오차 | ±0.2KHz 이하 |
| 특성 임피던스 | 50 Ohm (자동 매칭) |
| 진공도 | 10Pa ~ 30Pa |
| 세정 시간 | 1~99999초 조절 |
| 가스 유량 | 10~300 ml/min 조절 |
| 가스 종류 | N₂, Ar, Air, Mixed Gas (별도) |
| 가스 채널 | 기본 1채널 (옵션: 2채널 믹서) |
| 제어 방식 | MCU 자동 / 수동 모드 |
| 냉각 방식 | 강제 공랭 |
| 챔버 온도 | 30℃ 이하 |
| 외형 크기 | 650 × 600 × 750 mm |
배송안내
배송 지역 | 대한민국 전지역
배송비 | 4,000원 (100,000원 이상 결제시 무료배송)
배송기간 | 주말 공휴일 제외 2~5일
- 모든 배송은 택배사 사정으로 지연될 수 있습니다.
교환 및 반품 안내
- 고객 변심으로 인한 교환/반품은 상품 수령 후 14일 이내 가능합니다.
- 고객 귀책 사유로 인한 반품의 경우 왕복 택배비는 고객 부담입니다.
- 반품접수 기한이 지난 경우, 제품 및 패키지 훼손, 사용 흔적이 있는 제품은 교환/반품이 불가합니다.
주요특징
20L 대용량 챔버(380 × 265 × 200mm) 구조입니다
RF 출력 0~600W 조절 가능하여 고밀도 플라즈마 구현이 가능합니다
40KHz RF 방식 기반 안정적 플라즈마 발생 구조입니다
50 Ohm 자동 임피던스 매칭 기능을 지원합니다
진공 범위 10Pa~30Pa 제어 가능합니다
세정 시간 1~99999초 설정 가능으로 장시간 공정 운용이 가능합니다
가스 유량 10~300ml/min 조절 가능합니다
MCU 기반 자동/수동 모드 지원으로 공정 재현성이 우수합니다
N₂, Ar, Air, 혼합가스 적용 가능합니다
듀얼 가스 믹서 옵션 확장 가능합니다
진공펌프 옵션 선택 가능합니다
강제 공랭 방식으로 챔버 온도 30℃ 이하 유지합니다
사양
| 모델명 | PCL-20 |
|---|---|
| 챔버 용량 | 20 L |
| 챔버 크기 | 380 × 265 × 200 mm |
| 챔버 재질 | Stainless Steel |
| 전원 | AC 220V, 50/60Hz |
| RF 출력 | 0~600W 조절 |
| RF 주파수 | 40KHz |
| 주파수 오차 | ±0.2KHz 이하 |
| 특성 임피던스 | 50 Ohm (자동 매칭) |
| 진공도 | 10Pa ~ 30Pa |
| 세정 시간 | 1~99999초 조절 |
| 가스 유량 | 10~300 ml/min 조절 |
| 가스 종류 | N₂, Ar, Air, Mixed Gas (별도) |
| 가스 채널 | 기본 1채널 (옵션: 2채널 믹서) |
| 제어 방식 | MCU 자동 / 수동 모드 |
| 냉각 방식 | 강제 공랭 |
| 챔버 온도 | 30℃ 이하 |
| 외형 크기 | 650 × 600 × 750 mm |
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