PFA 웨이퍼 캐리어 6인치 불소수지 테프론 PFA Wafer Carrier 6Inches
대형 웨이퍼 및 화학 세척 공정에 완벽 대응하는, 내화학성과 정밀 설계의 6인치 PFA 웨이퍼 캐리어 ‒ KM-60NA, KM-615-A1, KM-60NM 시리즈로 안정한 세척·이송·보관을 실현합니다.
주요 특징
고순도 PFA 재질 사용: 산·염기 및 유기용제에 대한 우수한 내화학성과 오염 잔류 최소화됨.
대형 웨이퍼 대응 (6인치 ≒ 150 mm): 생산이나 대량 처리 환경에 적합한 대형 캐리어 설계.
25장 수납 가능: 동일한 수납 용량으로 취급 일관성 확보됨.
구조별 차별화된 특징:
KM-60NA (7-177-10): 세척 잔류 최소화, 워시 슬롯(side wall slot) 구조로 세척·건조 효과 강화.
KM-615-A1 (6-7987-16): 표준형 구조, RoHS2 대응, 크기 및 무게에서 밸런스 유지됨.
KM-60NM (6-7987-08): “NM(Narrow-Medium)” 구조로 포켓 하단 개방 또는 유로 설계 강화, 강성 중시 설계.
세척성, 보호성 및 액체 배출(leak/drain) 최적화: 워시 슬롯 등으로 잔유액 제거 및 건조성능 개선됨.
사양
| 품번 | 모델명 | 적용 웨이퍼 지름 | 크기 (mm) | 수납매수 |
| 7-177-10 | KM-60NA | 150 mm (6") | 187×142.24×165 | 25매 |
| 6-7987-08 | KM-60NM | 150 mm (6") | 187×142.24×165 | 25매 |
| 6-7987-16 | KM-615-A1 | 150 mm (6") | 177.8×143.38×171.5 | 25매 |

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배송 지역 | 대한민국 전지역
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주요 특징
고순도 PFA 재질 사용: 산·염기 및 유기용제에 대한 우수한 내화학성과 오염 잔류 최소화됨.
대형 웨이퍼 대응 (6인치 ≒ 150 mm): 생산이나 대량 처리 환경에 적합한 대형 캐리어 설계.
25장 수납 가능: 동일한 수납 용량으로 취급 일관성 확보됨.
구조별 차별화된 특징:
KM-60NA (7-177-10): 세척 잔류 최소화, 워시 슬롯(side wall slot) 구조로 세척·건조 효과 강화.
KM-615-A1 (6-7987-16): 표준형 구조, RoHS2 대응, 크기 및 무게에서 밸런스 유지됨.
KM-60NM (6-7987-08): “NM(Narrow-Medium)” 구조로 포켓 하단 개방 또는 유로 설계 강화, 강성 중시 설계.
세척성, 보호성 및 액체 배출(leak/drain) 최적화: 워시 슬롯 등으로 잔유액 제거 및 건조성능 개선됨.
사양
| 품번 | 모델명 | 적용 웨이퍼 지름 | 크기 (mm) | 수납매수 |
| 7-177-10 | KM-60NA | 150 mm (6") | 187×142.24×165 | 25매 |
| 6-7987-08 | KM-60NM | 150 mm (6") | 187×142.24×165 | 25매 |
| 6-7987-16 | KM-615-A1 | 150 mm (6") | 177.8×143.38×171.5 | 25매 |

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